1、气动执行机构
1、膜片。对薄膜式气动执行机构来说，膜片是最重要的元件，在气源系统正常的情况下，如果执行机构不动作，就应该想到膜片是否破裂、是否没安装好。当金属接触面的表 面有尖角、毛刺等缺陷时就会把膜片扎破，而膜片绝对不能有泄漏。另外，膜片使用时间过长，材料老化也会影响使用。
2、活塞。气动、液动执行机构的活塞产生驱动力，因此活塞的损坏、磨损是绝对不允许的。
3、气（液）管。这是输入压力通向执行机构的通路，因此要经常检查是否接牢，不漏气。
4、推杆。要检查推杆有无弯曲、变形、脱落。推杆与阀杆连接要牢固，位置要调整好，这样才能确保足够的行程并关闭阀门。
5、弹簧。要检查弹簧有无断裂。制造、加工、热处理不当都会使弹簧断裂。有些弹簧在过大的载荷作用下，也可能断裂。

2、电动执行机构
1、电机 检查电机是否能转动，是否容易过热，是否有足够的力矩和耦合力。
2、伺服放大器 检查是否有输出，是否能调整。

3、减速机构 各厂家的减速机构各不相同。因此要检查其传动零件—轴、齿轮、蜗轮等是否损坏，是否磨损过大。
4、力矩控制器 根据具体结构检查其失灵原因。